微束等離子（Microplasma）是一種尺寸在微米級別的等離子體。它們通常由直徑在10納米到1毫米之間的氣體放電體積構(gòu)成，可以在常壓下運(yùn)行，是一種非常適合微加工和表面改性的工具。

    微束等離子源（Microplasma Source）的工作原理是通過外加電場激發(fā)氣體中的電子，使其獲得足夠的能量從而激發(fā)出更多的電子，形成等離子體。這些等離子體可以被用來產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)、腐蝕、沉積等各種作用。

    微束等離子的應(yīng)用非常廣泛，包括微電子制造、納米加工、醫(yī)療、環(huán)保等領(lǐng)域。例如，通過微束等離子可以制造出各種微型電子元件，如微型傳感器、MEMS器件等。此外，微束等離子還可以用來表面改性，比如改善材料表面的潤濕性、增強(qiáng)附著力、提高抗腐蝕性能等。在醫(yī)療領(lǐng)域，微束等離子可以被用來殺滅癌細(xì)胞，消毒等。在環(huán)保領(lǐng)域，微束等離子可以被用來處理垃圾、凈化水源等。

    總的來說，微束等離子的應(yīng)用前景非常廣闊，有望在未來得到更為廣泛的應(yīng)用和發(fā)展。